一般是建设洁净室的工程, 洁净室(Clean Room), 亦称為(wèi)无尘室或清净室。它是污染控制的基础, 没有(yǒu)洁净室, 污染敏感零件不可(kě)能(néng)批量生产。在 FED‐STD‐2 里面, 洁净室被定义為(wèi)具备空气过滤、 分(fēn)配、 优化、 构造材料和装置的房间, 其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度, 从而达到适当的微粒洁净度级别。净化工程是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、 有(yǒu)害空气、 细菌等污染物(wù)排除, 并将室内温度、 洁净度、 压力、气流速度与气流分(fēn)布、 噪音振动及照明、 静電(diàn)控制在某一需求范围内的工程學(xué)科(kē)。净化工程所特别设计的房间, 不论外在空气条件如何变化, 室内均具有(yǒu)维持原先所设定要求之洁净度、 温湿度及压力等性能(néng)。 洁净室最主要之作用(yòng)在于控制产品(如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度日及温湿度, 使产品能(néng)在一个良好之环境空间中生产、 制造, 此空间我们称之為(wèi)洁净室(即净化工程) 。
1. 拆除工程
尽可(kě)能(néng)不使用(yòng)有(yǒu)“火” 的操作, 特别是拆除有(yǒu)可(kě)燃性、 爆炸性物(wù)质的输送管線(xiàn)、 排气 線(xiàn), 严禁用(yòng)有(yǒu)“火” 操作;当必须使用(yòng)有(yǒu)“火” 操作时, 应在 1 小(xiǎo)时以后确认没有(yǒu)问题方可(kě)离开现场;?对可(kě)能(néng)产生振动的拆除工作, 应事前同有(yǒu)关方面协调、 确定施工时间:对部分(fēn)拆除, 其余部分(fēn)不拆除或尚需使用(yòng)时, 应妥善处理(lǐ)系统断开和拆除前的必要测 试工作(流量、 压力等);当断开電(diàn)掘时, 必须有(yǒu)操作電(diàn)工在场处理(lǐ)有(yǒu)关安全、 操作事宜。
2. 风管施工
严格按有(yǒu)关规定进行现场施工, 并应根据改造现场实际情况制定施工及安全规定;妥善检查、 保存搬入现场的待装凤管, 保持管内外的清洁, 两端应用(yòng)塑料薄膜封口;打吊装用(yòng)膨胀螺栓时将会有(yǒu)振动产生, 应事先同业主等有(yǒu)关人员协调:风管吊装前取 下封口薄膜, 并擦拭内部后吊装, 对保留的原有(yǒu)设施中的易损坏部分(fēn)(如塑料管道、 保温层 等}不受压, 宣采取必要的保护措施。
3. 配管配線(xiàn)施工
配管配線(xiàn)所需的焊接作业, 应备好消防灭火器材、 石棉板等;严格按配管配線(xiàn)的有(yǒu)关施工验收规范进行。若现场邻近处不允许使用(yòng)水压试验时, 可(kě) 采用(yòng)气压试验, 但应按规定采取相应安全措施;当与原有(yǒu)管道连接时, 应事先制定连接前和连接时的安全技术措施, 尤其对于可(kě)燃、 有(yǒu)毒气體(tǐ)、 擅體(tǐ)管道的连接;操作时, 有(yǒu)关方面安全管理(lǐ)人员必须在现场, 必要时要备好消防灭火
器材;对输送高纯介质管道的施工, 陈应遵守有(yǒu)关的规程施工外, 还应特别注意对原有(yǒu)管道连接时的清洗、 吹扫和纯度试验工作的进行。
4. 竣工检查及试运行
改造洁净室的竣工验收首先应按有(yǒu)关标准、 规范对各部分(fēn)进行检查、验收;
这里需强 调的是与原有(yǒu)建筑、 系统相关部位的检查、 验收,有(yǒu)的仅检查、验收还不能(néng)证明能(néng)符合改造的目标要求, 还应通过试运行才能(néng)得以验证,
所以既要作好竣工验收, 也要求施工单位 同业主等共同作好试运行;改造洁净室的试运行, 包括改造涉及的各相关系统、 设施和设备, 应按相关的标准、 规范要求, 并结合工程的具體(tǐ)情况制定试运行指南和要求,逐一地进行试运行。试运行中应特别注意与原有(yǒu)系统连接部分(fēn)的拉盒, 新(xīn)增的管路系统小(xiǎo)得对原有(yǒu)系统产生污染, 连接前必须做好检查测试,连接时应采取必要防护措施, 连接后的试运行必须认真检查测试,达到要求后才能(néng)结束试运行。
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