一、洁净室的基本知识
(一)什么叫洁净室
根据“洁净厂房设计规范”GB50073-2013中名词解释,洁净室就是“空气悬浮粒子(灰尘、微生物(wù)…)浓度受控的房间。其建造和使用(yòng)方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子最少,同时,还要按生产工艺的要求对房间内的温度、湿度、压力、静電(diàn)、振动、噪声等其他(tā)相关参数也要受控。”洁净室广泛地应用(yòng)在電(diàn)子(微電(diàn)子、光電(diàn)子等)、航天、机械、化工、农业、制药、医疗、食品、实验动物(wù)饲养、生物(wù)安全和生物(wù)工程等各行各业。
(二)洁净室四大技术要素
从洁净室的建造、使用(yòng)和维护而言,洁净室有(yǒu)四大技术要素:
A、洁净室的净化空调系统至少应有(yǒu)粗效、中效和高效过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有(yǒu)高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)。
B、洁净室送风应有(yǒu)足够的空调(消除室内余热、余湿)和净化(保持洁净度)送风量。其送风量不仅能(néng)消除室内的余热和余湿,保证室内的温度和相对湿度,同时还能(néng)消除或稀释室内的粒子污染,保证室内的洁净度要求。
C、洁净室必须建立和维持必要的相对压差(正压或负压)。
D、洁净室应有(yǒu)合理(lǐ)的气流流型,以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。
(三)洁净室的分(fēn)类
洁净室的分(fēn)类一般按气流流型来分(fēn),还可(kě)按使用(yòng)用(yòng)途和主要控制对象来分(fēn)。
A、洁净室按气流流型分(fēn)类
洁净室按气流流型来分(fēn)类可(kě)分(fēn)為(wèi)单向流洁净室、非单向流洁净室、混合流洁净室和矢流洁净室。
a、单向流洁净室
单向流洁净室的净化原理(lǐ)是活塞挤压原理(lǐ),是洁净气流将室内产生的粒子由一端向另一端以活塞型式挤压出去,用(yòng)洁净气流充满洁净室。单向流洁净室又(yòu)可(kě)分(fēn)為(wèi)垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。
① 垂直单向流洁净室是在其吊顶上满布(≥80%)高效空气过滤器(或 FFU),经其过滤的洁净气流从吊顶用(yòng)活塞型式以一定的速度,把室内的污染粒子向地面挤压,被挤压的污染空气通过地板格栅排出洁净室,这样不断地进行循环运行来实现洁净室的高洁净度。垂直单向流洁净室可(kě)创造最高的洁净度(1 级~5 级)但是,它的初投资最高、运行费最高。
② 水平单向流洁净室是在其一面墙上满布(≥80%)高效空气过滤器,被其过滤的洁净空气以一定的速度用(yòng)活塞型式将污染粒子挤压到对面的回风墙,由回风墙排出洁净室,这样不断循环来实现高的洁净度等级。水平单向流可(kě)创造5级的洁净度等级。其初投资与运行费用(yòng)也低于垂直单向流洁净室。水平单向流洁净室与垂直单向流洁净室比较,其最大的區(qū)别是垂直单向流气流是由吊顶天花(huā)流向地面,所有(yǒu)工作面全部被洁净的气流覆盖。而水平单向流洁净室的气流是由送风墙流向回风墙,因此,气流在第一工作面洁净度最高,后面的工作面的洁净度会越来越差。